功能板块
1. MEMS晶圆测试
测试对象:加速度、陀螺仪、压力、麦克风晶圆
能力:提供pA,fF,uV测试精度,惯性传感器的动态响应Fq和品质因数Q测试
2. CIS晶圆测试
测试对象:CIS图像传感器、光传感器
能力:提供3200K,5000K双色温光源,Cphy 2.5GHz,128数字通道,64电源通道
3. 惯性晶圆校准
测试对象:加速度传感器、陀螺仪传感器
能力:提供X,Y两轴向无角度限制旋转模式,750dps,196 测试通道