关注领域
国家智能传感器创新中心将创新和建设重点放在:
- 重点攻克基于MEMS工艺的传感器设计集成技术、先进制造及封测工艺;
- 加强与标准CMOS工艺结合,提升传感器的精度、可靠性和稳定性;
- 加快布局基于新结构、新材料和新原理的传感器。
建设目标
- 建立传感器共性工艺、器件结构等领域研发平台 ,以研发供给、转移扩散和首次商业化为核心目标;
- 研发新一代传感器核心技术,建立有行业影响力的技术标准和自主知识产权;
- 建立工程服务平台,促进传感器产业链发展, 完善设计、制造、封装、测试标定、EDA软件各产业环节;
- 培养一支在材料、工艺、器件开发的世界级研发团队。