MEMS产业高速发展,MEMS在技术、集成、应用上的发展和突破...
MEMS-CMOS兼容技术通过CMOS逻辑电路与MEMS传感器的工艺集成,可以实现两者间的优势互补...
MEMS专用集成电路(ASIC)的设计是MEMS技术发展的关键共性技术...
随着MEMS技术及市场的快速发展,对于封装技术的要求越来越高,主要体现为集成度、标准化、小尺寸...
采用先进晶圆和工程衬底制造技术,形成可实现面向自动驾驶、智能识别、高端图像应用的工艺技术平台...
微流体生物技术是即时医疗检测及生物医疗、药物研发的核心技术...