功能板块
1. MEMS晶圆测试
测试对象：加速度、陀螺仪、压力、麦克风晶圆
能力：提供pA，fF，uV测试精度，惯性传感器的动态响应Fq和品质因数Q测试
2. CIS晶圆测试
测试对象：CIS图像传感器、光传感器
能力：提供3200K，5000K双色温光源，Cphy 2.5GHz，128数字通道，64电源通道
3. 惯性晶圆校准
测试对象：加速度传感器、陀螺仪传感器
能力：提供X,Y两轴向无角度限制旋转模式，750dps，196 测试通道
