MEMS微流体技术是即时医疗检测及生物医疗，药物研发的核心技术，建立下一代智能微流体柔性工艺平台是生物医疗创新研发的基础，市场潜力十分巨大。通过研究兼容热泡-压电工艺的CMOS-MEMS智能微流体芯片，攻克整晶圆PZT微纳加工、高效率微流体结构加工等关键技术，为CMOS-MEMS集成的微流体智能芯片的研发与推广解决核心部件问题，提供根本支撑。
智能微流体：利用整晶圆工艺集成CMOS前端与微流体MEMS后端，制备低成本智能微流体。CMOS-MEMS芯片，实现对微量液体的自主，精准操作及控制。
MEMS微流体技术是即时医疗检测及生物医疗，药物研发的核心技术，建立下一代智能微流体柔性工艺平台是生物医疗创新研发的基础，市场潜力十分巨大。通过研究兼容热泡-压电工艺的CMOS-MEMS智能微流体芯片，攻克整晶圆PZT微纳加工、高效率微流体结构加工等关键技术，为CMOS-MEMS集成的微流体智能芯片的研发与推广解决核心部件问题，提供根本支撑。
智能微流体：利用整晶圆工艺集成CMOS前端与微流体MEMS后端，制备低成本智能微流体。CMOS-MEMS芯片，实现对微量液体的自主，精准操作及控制。
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